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技術(shù)資訊
在現(xiàn)代照明與顯示領(lǐng)域,LED(發(fā)光二極管)憑借節(jié)能、長(zhǎng)壽、環(huán)保等優(yōu)勢(shì)熠熠生輝,而其背后復(fù)雜且精細(xì)的加工工藝,步步精心,方成就這照亮世界的“光之源”。芯片制造是根基,始于高純度半導(dǎo)體材料。常以砷化鎵、藍(lán)寶石為襯底,通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)或分子束外延(MBE)工藝,精準(zhǔn)生長(zhǎng)出多層量子阱結(jié)構(gòu)。CVD時(shí),氣態(tài)反應(yīng)物在高溫襯底上分解、擴(kuò)散,按預(yù)設(shè)厚度沉淀成晶膜;MBE則如“太空‘噴灑’原子”,在超高真空下,將元素分子束射向襯底,一層層堆疊出納米級(jí)精度的薄膜,此過(guò)程溫度、氣壓、氣體流...
7-10
閃耀光柵憑借的定向衍射特性,在光譜儀器中占據(jù)核心地位。其加工工藝流程需經(jīng)過(guò)多道精密工序,從基底制備到成品檢測(cè),每一步都需嚴(yán)格控制精度,以下是詳細(xì)流程解析。?1、基底材料制備與預(yù)處理?閃耀光柵的基底需選用光學(xué)性能穩(wěn)定的材料,常用熔融石英(透射型)或鋁合金(反射型)。首先對(duì)原材料進(jìn)行切割,采用金剛石鋸片將石英棒或金屬塊切割成預(yù)設(shè)尺寸(如100mm×100mm×5mm),切割面平面度誤差控制在5μm以?xún)?nèi)。切割后的基底進(jìn)行粗磨,使用800目碳化硅砂輪去除表面毛刺和切割痕跡,使表面粗糙...
7-7
納米壓印光刻是一種高分辨、低成本的圖案化技術(shù),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、納米結(jié)構(gòu)加工和生物芯片等領(lǐng)域。其核心原理是通過(guò)物理或化學(xué)方式將納米尺度的模板圖案轉(zhuǎn)移到目標(biāo)材料上。以下從設(shè)備組成、操作流程、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)和常見(jiàn)問(wèn)題等方面詳細(xì)闡述使用細(xì)節(jié)。一、設(shè)備組成與功能模塊1.壓印系統(tǒng)-壓盤(pán)與模板臺(tái):用于承載硅模板或石英模板,支持二維/三維精密對(duì)準(zhǔn)。-壓力控制模塊:提供均勻壓力(0.1-20bar),確保模板與基片充分接觸。-加熱/冷卻系統(tǒng):溫控范圍通常為室溫至300℃,用于熱固化或軟化抗...
6-26
微透鏡陣列作為一種微納結(jié)構(gòu)元件,在光通信、成像系統(tǒng)、光學(xué)傳感等眾多領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而,要實(shí)現(xiàn)其高性能的應(yīng)用,加工工藝必須滿(mǎn)足一系列嚴(yán)苛的要求。一、精度要求微透鏡陣列的精度直接關(guān)系到其光學(xué)性能。首先,單個(gè)微透鏡的曲率半徑精度要求高。哪怕是微小的曲率偏差,都可能導(dǎo)致焦距的改變,進(jìn)而影響光線(xiàn)的聚焦效果。例如在光通信中,若微透鏡陣列的曲率不準(zhǔn)確,會(huì)使光信號(hào)的耦合效率降低,增加信號(hào)損失。其次,微透鏡之間的間距精度也至關(guān)重要。不均勻的間距會(huì)使光線(xiàn)在陣列中的傳播路徑發(fā)生紊亂,破...
6-15
LED(發(fā)光二極管)作為一種高效、節(jié)能且壽命長(zhǎng)的照明和顯示元件,其加工工藝流程涉及多個(gè)精細(xì)且關(guān)鍵的步驟。一、芯片制造LED的核心是芯片,芯片制造是整個(gè)工藝流程的起點(diǎn)。首先是外延生長(zhǎng),通過(guò)金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)等技術(shù),在襯底(如藍(lán)寶石、硅等)上生長(zhǎng)出具有特定結(jié)構(gòu)和組成的半導(dǎo)體外延層。這一過(guò)程需要精確控制溫度、壓力、氣體流量等參數(shù),以確保外延層的質(zhì)量和均勻性。接著進(jìn)行光刻工藝,利用光罩將設(shè)計(jì)好的圖案轉(zhuǎn)移到外延層上,形成LED的電極圖形。然后通過(guò)蝕刻工藝去除不需要的部分...
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